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半导体制造业使用进口真空泵的原理

点击次数:1588 发布时间:2014-04-22

半导体制造业使用进口真空泵的原理
    进口真空泵顾名思义就是抽真空的泵,提供抽除真空的一种机械设备,目前我国制造业大部分是使用进口真空泵,我发真空泵发展史仅有50年,使用行业非常广泛,尤其是在半导体行业。
    真空泵作为半导体制造行业的一种主要的生产设备,愈来愈要求安全可靠。当烃油密封的旋转泵用于光刻去胶等有氧的场合,有时会发生爆炸。原子化的油雾、热的油蒸气、摩擦、压缩、较高的温度、外 物、可能的静电等,一旦与氧结合便可能危害环境。而这些因素,真空泵里都有。在泵里采用氮等惰性气体作为气爆,并用氮来减小油箱里的氧浓度(使氧浓度低于 25%),可使发生爆炸的危险性减小.这个方法已被半导体制造行业采用.新的真空泵将更能适应集成电路制造工艺中的腐蚀要求,例如可用陶瓷、耐熔金属和贵金属制造。
    展望 50年后,许多半导体制造甚至可以带到外层空间去进行!未来的真空泵将仅仅是工艺处理室后面的一只面向着深远莫测外层空间的阀门而已!

 

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