爱德华半导体真空泵维修EPX180L

爱德华半导体真空泵维修EPX180L

新的紧凑型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 EPX180L、使用

了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

IPX 系列，可提供的性能，与 EPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 

应用:

EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级

管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可化功率效率。

的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。

超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油

脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，程度地延长了

泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。 

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