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爱德华半导体真空泵维修EPX180L

简要描述:

爱德华半导体真空泵维修EPX180L:高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

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更新时间:2022-11-24

产品产地:英国

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爱德华半导体真空泵维修EPX180L
品牌Edwards/英国爱德华输送介质其他
泵轴位置边立式叶轮数目其他
应用领域医疗卫生,环保,食品,能源,电气

爱德华半导体真空泵维修EPX180L

新的紧凑型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX500 EPX180L、使用

了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

IPX 系列,可提供的性能,与 EPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 

应用:

EPX 系列涵盖的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一,EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级

管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可化功率效率。

的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。

超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油

脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,程度地延长了

泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。 

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