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半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160

简要描述:

半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160:Edwards高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

浏览次数:1762

更新时间:2022-11-24

产品产地:上海

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半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160
品牌Edwards/英国爱德华输送介质其他
泵轴位置边立式叶轮数目其他
应用领域电子

半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160

Edwards高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿

命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供

了高可靠性。

功能和优势:

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降

低了总体占地面积。

技术参数:

极限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr  / 1 Pa

进气口连接:ISO63

出口连接:NW40

重量:244 kg

极限功率输入:3.1 kW

电机额定功率:5.0 kW

1、确认问题(如有需要,会在24小时内派出专业技术人员赶赴现场确认真空泵故障)

2、故障原因(比其尔确认故障原因后,拟定出具体维修方案与周期、甲乙两方签定协议后,甲方

安排人员上门提泵,针对珠三角地区客户)

3、真空泵拆开报价(为了让客户更清晰的知道维修费用,比其尔会给出详细的维修清单及费用)

4、确认维修(客户同意维修费用后开始维修,维修配件为原装正品,维修后所换配件全部还客

户)

5、试机确认(确保维修过后达到的真空度和稳定性能,真空度达到出厂标准)

6、送泵安装(在试机OK后24小时内,客户可当初验收真空泵,看试机运转效果)

7、定期回访(比其尔承诺,维修保修服务;统一质保修6个月)

半导体爱德华干式真空泵维修IH80/IH160

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