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真空镀膜设备维修保养注意事项

点击次数:2618 发布时间:2017-05-22

真空镀膜设备维修保养注意事项:

镀膜设备维修保养注意以下几点:

1、平时整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要是真空室长期暴露在大气中;

2、经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封处加上真空脂;

3、定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的元、器件;

4、在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是:先将整个真空系统抽至真空状态,注意不要

加热扩散泵,用手动打开精抽阀,然后按放气阀按钮让系统充入大气,当真空室充满大气后就可进行

拆卸扩散泵和阀门;

5、停旋片泵、滑阀泵时,要注意电磁阀(或气动阀)是否向泵腔充气,否则会引起回油,污染真空管

道。因此,电磁阀(或气动阀)充气动作失灵时,必须及时进行修理或更换;

6、对于偏北地区,在寒冷季节,夜间和教长时间停机时,必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵

体,以免冻裂冷却水管(套)、泵体;

7、精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作,若在过高的压强下进行抽气,会使扩散泵油氧化,降

低抽气能力,缩短泵油的使用寿命;

8、为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境,滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外,因为

从滑阀泵排出的气体含有很多微小的有雾。若不把它排出工作房,则在装被镀的工件时,尽管工件表

面经过认真的清洁处理,仍然很快就会被微小的油雾所污染,严重影响膜层的质量;

9、在工作过程中不得断水,采用的冷却水必须清洁,不得使用硬水或浊水作为冷却水,否则会使冷却

水管沉积一层水垢,影响冷却效果。

 

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