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光学行业真空镀膜设备如何进行保养

点击次数:1386 发布时间:2016-10-31

光学行业真空镀膜设备如何进行保养:

光学真空镀膜设备主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜(控制电柜、电子枪电枢)组成,其

广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短

工作周期等方面具有的性能。

光学真空镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,

材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向

四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成腊层。

精密光学真空镀膜设备在保养的时候有哪些保养方面的措施,下面的内容中我们就来了解。

一、定期更换扩散泵油

真空镀膜机扩散泵油使用一段时间,约二个月两班:,因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩

散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品

质下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。

二、真空泵

真空镀膜机机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原

因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合

期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。

三、清洁卫生

定期将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将真空镀膜设备周围环境整理有

条,有一个好的工作环境,以保安全。

 

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