掌握爱德华真空泵油UL70的正确使用方法是保障真空品质的关键
点击次数:13 更新时间:2026-01-26
爱德华真空泵油UL70是专为中高真空旋片式机械泵设计的高性能合成润滑油,广泛应用于半导体、镀膜、分析仪器及科研领域。其优异的热稳定性、低蒸气压和抗氧化能力,可确保真空系统长期稳定运行并达到极限真空。若选型错误或操作不当,不仅会降低抽气效率,还可能污染腔体、缩短泵寿命。掌握
爱德华真空泵油UL70的正确使用方法,是保障真空品质与设备可靠性的关键。

一、适用性确认
爱德华真空泵油UL70适用于爱德华RV、nXDS等系列旋片泵,不可用于扩散泵、罗茨泵或干泵。严禁与矿物油、其他品牌合成油或旧油混合,以免发生化学反应导致油泥生成或密封失效。更换前务必查阅泵体铭牌或手册,确认油品兼容性。
二、换油操作规范
热态排油:在泵运行5–10分钟后停机(油温约60–70℃),此时油流动性好,可充分排出污染物;
清洗(旧油严重碳化时):加入少量UL70专用冲洗油(如EdwardsC100),空转5分钟后排净;
精确加注:通过视窗或量尺将UL70加至“MAX”线(通常RV12泵约1.2L),过少导致润滑不足,过多则引起喷油或过热。
三、运行维护要点
定期检查油质:正常UL70呈透明淡黄色;若变黑、浑浊或出现乳化(进水),应立即更换;
更换周期参考:
普通实验室环境:每6–12个月;
高负荷或含溶剂工况:每3–6个月;
连续运行或高温环境:按实际油质判定,不可仅依赖时间;
避免吸入有害气体:处理腐蚀性或反应性气体(如HCl、NH?)时,需加装冷阱或化学过滤器,防止油品劣化。
四、安全与环保处置
操作时戴手套,避免皮肤接触;
废油属危险废弃物,不可倒入下水道,应收集于密封容器,交由有资质单位回收;
储存于阴凉干燥处,远离火源,保质期通常5年(未开封)。