WAU2001莱宝罗茨真空泵性能源于其精密设计的多个核心功能模块
点击次数：13 更新时间：2026-01-08
WAU2001莱宝罗茨真空泵广泛应用于半导体制造、镀膜、分析仪器、真空干燥及科研领域，作为中高真空系统的增压级或主抽泵，可与旋片泵、干泵等前级泵组合，实现从大气压至10-3mbar量级的高效抽气。其以高抽速（2000m3/h）、低振动、长寿命和优异的工艺兼容性著称。
WAU2001莱宝罗茨真空泵性能源于其精密设计的多个核心功能模块。
一、罗茨转子系统
采用一对精密动平衡的8字形同步转子，间隙控制在微米级，实现无接触运转，避免摩擦磨损；
转子表面经特殊涂层处理（如DLC类金刚石碳膜），增强耐腐蚀性，适用于含弱腐蚀性工艺气体环境；
高速旋转（通常1500–3000rpm）形成强制输送效应，大幅提升中真空区（10–1033mbar）抽速。
二、同步齿轮与轴承组件
高精度斜齿轮确保两转子严格同步反向旋转，传动平稳、噪音低（典型＜75dB）；
轴承置于泵腔外部油腔内，通过独立润滑系统供油，隔离工艺气体，延长寿命；
采用双列角接触轴承，可承受轴向与径向复合载荷，保障高速运转稳定性。
三、冷却与温控系统
泵体集成水冷或风冷通道，有效导出压缩热，防止过热导致密封失效或材料变形；
可选配温度传感器与自动保护模块，当壳体温度＞90℃时触发报警或停机；
冷却水接头采用快插式不锈钢接口，防漏耐用，适配工业循环水系统。
四、密封与排气结构
轴封采用双端面机械密封或磁流体密封（可选），杜绝润滑油渗入泵腔，满足洁净工艺要求；
排气口配备消音器与油气分离器（若配油润滑），降低噪音并防止油雾外排；
所有通气流道经流体仿真优化，减少湍流与返流，提升极限真空与抽气效率。
地址：广东省东莞市寮步镇坑口红荔路179号
电话：0769-8321-6362
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