爱德华螺杆真空泵维修应严格遵守的规范介绍
点击次数：2 更新时间：2026-01-14
爱德华螺杆真空泵凭借无油干式运行、高抽速、低振动及优异的工艺兼容性，广泛应用于半导体、光伏、镀膜、化工及锂电池制造等领域。其核心由一对精密啮合的非对称螺杆转子在同步齿轮驱动下实现气体压缩与排出。由于内部间隙小、材料与装配精度要求高，不当维修易导致性能下降、异响。因此，
爱德华螺杆真空泵维修时必须遵循严格规范，做到精、净、准、慎。
一、安全断电与系统隔离
维修前务必切断主电源并上锁挂牌（LOTO），防止误启动；
关闭进/排气阀门，释放泵腔内残余压力，确认真空表归零；
若用于腐蚀性或有毒工艺，需用惰性气体充分吹扫腔体，避免残留物危害。
二、环境与工具洁净度控制
维修区域必须为无尘车间或洁净工作台，空气中颗粒物会划伤转子表面；
使用专用无纺布、无水乙醇（≥99.5%）清洁零件，禁用棉纱或含氯溶剂；
所有工具（扭矩扳手、塞尺、吊装带）应专用且校准，避免引入杂质或损伤。
三、核心部件拆装要点
严禁强行拆卸转子：必须使用原厂拉马工装，按手册顺序松开同步齿轮锁紧螺母；
转子与壳体间隙为关键参数（通常0.05–0.15mm），拆卸后需用塞尺测量记录，重装时严格复原；
同步齿轮相位标记必须对齐，否则会导致转子碰撞——相位错位0.5°即可引发严重磨损。
四、密封与轴承更换规范
机械密封、O型圈、轴封等一次性耗材必须全部更换，禁止重复使用；
轴承采用预紧配对设计，安装时需加热至80–100℃热套，冷却后检查游隙；
润滑脂仅用于齿轮箱，螺杆腔体绝对禁止加油（干泵特性）。
五、装配后测试与验证
手动盘车应顺畅无卡滞，阻力均匀；
空载试运行30分钟，监测振动值（＜4.5mm/s）、温度（轴承＜70℃）及噪音；
连接标准漏孔进行极限真空与抽速测试，确认性能恢复至出厂指标。
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