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真空泵的离子检漏技术概述

点击次数:1022 发布时间:2020-07-22
   真空泵正常工作中,严禁*关闭进、排气口阀门,应注意定期观察压力情况,超负荷时安全阀是否动作排气,否则应及时调整安全阀,不准超负荷运行。对真空泵要做它的定期检测工作。离子检漏法与电离真空计检漏法类似,是利用示漏气体进入真空泵时,泵电流将发生变化的特性进行工作的,根据这种变化,可检测出真空系统的漏孔,并可估算漏孔的大小。
  在使用带有真空泵的抽气系统,或把被检件接到真空泵抽气系统上去时,人们可以在任何时间、在压力低于10-2 Pa的条件下,对系统或被检件进行检漏。这种检漏方法无须额外仪器,既灵敏又简便。其示漏气体可选用氧、氩、氢等。
  首先将真空泵抽空,抽到较低压力后关闭阀门,使泵保持在较低压力下工作。接入被检件,用前置泵排气,当真空度达到1-10-1 Pa时,关闭一阀门并打开另一阀门,用真空泵抽气。
  当达到平衡压力后,用示漏气体(如Ar)喷吹可疑有漏孔处,如喷吹到漏孔处时,示漏气体就会进入系统,使真空泵的放电电流指示迅速上升,这是因为泵对氩气抽速较低的缘故。
  当用氢或氧来检漏时,将会引起泵电流的下降,因为真空泵对这些气体的抽速比对空气的抽速大。
  这种方法的灵敏度为10-4~10-9Pa·m3·S-1。根据漏孔的大小,可以调节阀门开启程度实现其检漏效能。检漏时须注意其灵敏度与压力成反比,因此应尽量在较低的平衡压力下进行检漏;示漏气体经过净化处理。
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