真空泵的离子检漏技术概述

 　　真空泵正常工作中，严禁*关闭进、排气口阀门，应注意定期观察压力情况，超负荷时安全阀是否动作排气，否则应及时调整安全阀，不准超负荷运行。对真空泵要做它的定期检测工作。离子检漏法与电离真空计检漏法类似，是利用示漏气体进入真空泵时，泵电流将发生变化的特性进行工作的，根据这种变化，可检测出真空系统的漏孔，并可估算漏孔的大小。