什么是真空泵，真空泵的工作原理

什么是真空泵，真空泵的工作原理

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。

真空泵可以定义为：操纵机器、物理、化学或物理化学的方式对被抽容器举行抽气而的到真空的器件

或配置。随着真空应用的生长，真空泵的种类已生长了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十

万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范围。由于真空应用部分所

涉及的事变压力的范围很宽，因此任何一种范例的真空泵都小概*实用于全部的事变压力范围，只

可以根据不同的事变压力范围和不同的事变要求，利用不同范例的真空泵。为了利用方便和种种真空

工艺进程的必要，偶尔将种种真空泵按其性可以要求组合起来，以机组型式应用即：真空机组。

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、罗茨泵和将多种真空泵组合起来以机组型式应用的真空机

组等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中*的主力泵种。近年来， 伴随着我国

经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等

因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

1、液环式真空泵：将带有多叶片的转子偏爱装在泵壳内。当它旋转时，把事变液体抛向泵壳形成与泵

壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋变化容吸排气腔。事变液体通常为

水或油，以是亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

2、干式真空泵：它是一种泵内不消油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不必要事

变液体，因此，实用于半导体行业、化学产业、制药产业及食品行业等必要无油干净真空情况的工艺

场合。

3、罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁

之间均保持肯定的间隙。

真空泵的工作原理：

在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，

真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，终通过油封将吸入的气

体排出泵外。